一、用途

KSL/100/4-2 雙管氣氛擴散爐作為間歇性生產電爐，  主要設計用 于半導體材料退火、擴散和氧化工藝，也可用于太陽能電池行業的氮化硅、硼磷  硅玻璃、多晶硅等多種渡膜工藝。該爐采用真空吸濾成型的 FEC 陶瓷纖維加熱器  加熱，   高純氣煉石英管作為爐膛，可通入保護/反應氣體；原裝進口單回路溫度  控制儀控制，溫區設計隔板結構，恒溫區溫度均勻。國產氣氛控制系統，浮子流量計控制。設備具有控制穩定、溫度均勻、升溫速度快、節能等特點，是企業、科研院所理想的科研設備。

二、優點

1、溫度穩定、均勻 ——— 控制方式，合理的功率分布，溫度的穩定 性和均勻性達到狀態，從而大大提高產品燒結的品質。

2、效率高、壽命長——加熱元件的選擇，此窯爐選用真空吸濾成型的陶瓷 纖維加熱器，效率高、壽命長。

三、技術參數

設備型號：KSL/100/4-2

額定溫度：1000℃。

常用溫度：900℃～950℃。

爐管尺寸：φ100mm（外徑）、出口端帶水套（長度≥700mm）， 壁厚 4mm。

加熱區長度：900mm。

爐膛耐材：高鋁、硅酸鋁纖維制品。

控制溫區：8 個、每只爐管 4 個，  K 分度熱偶。

控溫精度：±1℃，  原裝進口 SRS4 系列單回路智能溫度控制儀，  PID 參數自

整定超溫、欠溫、斷偶報警保護。

加熱元件：陶瓷纖維加熱器。

升溫時間：30min。

加熱功率：約 9kW（單只）。

保溫功率：約 3kW（單只）。

保護氣體:每只爐管通 2 路氣體，  浮子流量計控制，  其中：

氮氣 1 路1～10L/min；

氫氣 1 路0.6～6L/min；

每只爐管配一臺氣路柜。

設備結構：落地式、帶萬向輪可以移動。

外形尺寸：約 3000×1500×1200mm（L×H×W）

設備外觀：表面噴塑，灰白色。